최고관리자
특수오링
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2021.07.19 10:18
켐라즈 오링 (ChemrazO-ring)
CHEMRAZ-513은 최소의 오염과 씰의 신뢰성이 요구되는
다양한 드라이 공정의 반도체 장비에 사용됩니다.
이 재질은 온도가 210℃를 넘지 않고 높은 씰링 하중을 가하지 않는 정적 플라즈마에서의
사진석판과 확산공정 등에서 뛰어난 성능을 보입니다.
이 재질의 경도 값은 상대 표면 조도의 불일치를 어느정도 허용합니다.
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한국총판 타미코시스템입니다.
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